Einspruch, N. G., & Brown, D. M. (1983). VLSI Electronics Microstructure science: Vol.8. Plasma proceesing for VLSI. Academic Press.
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Style de citation Chicago (17e éd.)
Einspruch, Norman G., et Dale M. Brown. VLSI Electronics Microstructure Science: Vol.8. Plasma Proceesing for VLSI. Orlando: Academic Press, 1983.
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Style de citation MLA (9e éd.)
Einspruch, Norman G., et Dale M. Brown. VLSI Electronics Microstructure Science: Vol.8. Plasma Proceesing for VLSI. Academic Press, 1983.
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