APA-Zitierstil (7. Ausg.)
Rai-Choudhury, P. (1997). Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Vol. 2. SPIE - The International Society for Optical Engineering.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)
Rai-Choudhury, P. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Vol. 2. Bellingham: SPIE - The International Society for Optical Engineering, 1997.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)
Rai-Choudhury, P. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Vol. 2. SPIE - The International Society for Optical Engineering, 1997.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.