Jansen, H. V., & Elwenspoek, M. (1998). Silicon micromachining. Cambridge University Press.
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Style de citation Chicago (17e éd.)
Jansen, Henri V., et Miko Elwenspoek. Silicon Micromachining. Cambridge: Cambridge University Press, 1998.
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Style de citation MLA (9e éd.)
Jansen, Henri V., et Miko Elwenspoek. Silicon Micromachining. Cambridge University Press, 1998.
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Attention : ces citations peuvent ne pas être correctes à 100%.