Brodie, I., & Muray, J. J. (1992). The physics of micro/nano-fabrication. Plenum Press.
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Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)
Brodie, Ivor, und Julius J. Muray. The Physics of Micro/nano-fabrication. New York: Plenum Press, 1992.
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MLA-Zitierstil (9. Ausg.)
Brodie, Ivor, und Julius J. Muray. The Physics of Micro/nano-fabrication. Plenum Press, 1992.
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