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Brodie, I., & Muray, J. J. (1992). The physics of micro/nano-fabrication. Plenum Press.
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Brodie, Ivor, and Julius J. Muray. The Physics of Micro/nano-fabrication. New York: Plenum Press, 1992.
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Brodie, Ivor, and Julius J. Muray. The Physics of Micro/nano-fabrication. Plenum Press, 1992.
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