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Schade, K. (1981). Halbleitertechnologie 1: Mechanische und chemische Kristallbearbeitung Schichtherstellung. Verlag Technik.
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Schade, Klaus. Halbleitertechnologie 1: Mechanische Und Chemische Kristallbearbeitung Schichtherstellung. Berlin: Verlag Technik, 1981.
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Schade, Klaus. Halbleitertechnologie 1: Mechanische Und Chemische Kristallbearbeitung Schichtherstellung. Verlag Technik, 1981.
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