Middleman, S., & Hochberg, A. K. (1993). Process engineering analysis in semiconductor device fabrication (1.vyd.). McGraw-Hill.
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Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)
Middleman, Stanley, und Arthur K. Hochberg. Process Engineering Analysis in Semiconductor Device Fabrication. 1.vyd. New York: McGraw-Hill, 1993.
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MLA-Zitierstil (9. Ausg.)
Middleman, Stanley, und Arthur K. Hochberg. Process Engineering Analysis in Semiconductor Device Fabrication. 1.vyd. McGraw-Hill, 1993.
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