Microelectronics processing chemical engineering aspects /

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Otros Autores: Hess, Dennis W., Jensen, Klavs F., 1952-
Formato: Libro
Lenguaje:inglés
Publicado: Washington, DC American Chemical Society 1989.
Colección:Advances in chemistry series 221
Materias:
Microelectronics > Materials.
Integrated circuits > Design and construction.
Surface chemistry.
Acceso en línea:Ver en el OPAC
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Descripción Física:xiv, 547 p. ill. 24 cm.
Bibliografía:Includes bibliographical references.
ISBN:0841214751
ISSN:0065-2393

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