Merač teploty v HF CVD reaktore s bezdrôtovým (optickým) prenosom informácie o teplote

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Kolmačka, Michal, 1984- (Verfasst von)
Weitere Verfasser:	Kadlečíková, Magdaléna, 1956- (Betreuung Doktorarbeit), Kremničan, V. (Betreuung Doktorarbeit)
Format:	Manuskript Buch
Sprache:	Slowakisch
Veröffentlicht:	Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2007
Schlagworte:	Mikroelektronika elektronika reaktory meranie teploty
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie das erste Tag hinzu!

View in STU Opac

MARC


LEADER	00000ntm a22000003a 4500
001	stu155607
005	20160719165053.4
008	080122s2007------------------------slo-d
040			\|a STU \|b slo
041	0		\|a slo
100	1		\|a Kolmačka, Michal, \|d 1984- \|4 aut \|X 11771 \|7 A000011771
242	0	0	\|a Optoelectronic Thermometer for HF CVD Reactor \|y eng
245	1		\|a Merač teploty v HF CVD reaktore s bezdrôtovým (optickým) prenosom informácie o teplote
260			\|a Bratislava : \|b STU v Bratislave FEI, \|c 2007
300			\|a 44 s \|c príl.3 s.
650		7	\|a Mikroelektronika \|2 stusub
650		7	\|a elektronika \|2 stusub
650		7	\|a reaktory \|2 stusub
650		7	\|a meranie teploty \|2 stusub
700	1		\|a Kadlečíková, Magdaléna, \|d 1956- \|4 ths \|u E030 \|U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky \|T FEI Ústav elektroniky a fotoniky \|X 1899 \|U E030 \|Y 549 \|7 A000001899
700	1		\|a Kremničan, V. \|4 ths