Depozícia tenkých vrstiev využitím magnetrónového naprašovania a dutej katódy

Saved in:

Bibliographic Details
Main Author:	Brath, Tomáš, 1985- (Author)
Other Authors:	Búc, Dalibor, 1948- (Thesis advisor)
Format:	Manuscript Book
Language:	Slovak
Published:	Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2009
Subjects:	elektronika Mikroelektronika tenké vrstvy naprašovanie
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!

View in STU Opac

MARC


LEADER	00000ntm a22000003a 4500
001	stu195321
005	20150617230022.1
008	091102s2008------------------------slo-d
040			\|a STU \|b slo
041	0		\|a slo
100	1		\|a Brath, Tomáš, \|d 1985- \|4 aut \|u E030 \|U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky \|T FEI Ústav elektroniky a fotoniky \|X 11489 \|U E030 \|Y 549 \|7 A000011489
245	1		\|a Depozícia tenkých vrstiev využitím magnetrónového naprašovania a dutej katódy
260			\|a Bratislava : \|b STU v Bratislave FEI, \|c 2009
300			\|a 74 s
650		7	\|a elektronika \|2 stusub
650		7	\|a Mikroelektronika \|2 stusub
650		7	\|a tenké vrstvy \|2 stusub
650		7	\|a naprašovanie \|2 stusub
700	1		\|a Búc, Dalibor, \|d 1948- \|4 ths \|u E030 \|U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky \|T FEI Ústav elektroniky a fotoniky \|X 2034 \|U E030 \|Y 549 \|7 A000002034