Suché plazmatické leptanie a tvarovanie mikroštruktúr pre aplikácie v mikroelektronike a senzorike : V.odb. 26-13-9 : dát.obhaj. 16.5.2010

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Haščík, Štefan (Verfasst von)
Weitere Verfasser:	Hotový, Ivan, 1957- (Betreuung Doktorarbeit), Lalinský, Tibor (Betreuung Doktorarbeit)
Format:	Manuskript Buch
Sprache:	Slowakisch
Veröffentlicht:	Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2009
Schlagworte:	Mikroelektronika laserové leptacie procesy elektronika plazmové leptanie suché leptanie senzory
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie das erste Tag hinzu!

View in STU Opac

MARC


LEADER	00000ntm a22000003a 4500
001	stu208331
005	20191202093204.5
008	100726s1993------------------------slo-d
040			\|a STU \|b slo
041	0		\|a slo
100	1		\|a Haščík, Štefan \|4 aut
245	1		\|a Suché plazmatické leptanie a tvarovanie mikroštruktúr pre aplikácie v mikroelektronike a senzorike : \|b V.odb. 26-13-9 : dát.obhaj. 16.5.2010
260			\|a Bratislava : \|b STU v Bratislave FEI, \|c 2009
300			\|a 107 s
650		7	\|a Mikroelektronika \|2 stusub
650		7	\|a laserové leptacie procesy \|2 stusub
650		7	\|a elektronika \|2 stusub
650		7	\|a plazmové leptanie \|2 stusub
650		7	\|a suché leptanie \|2 stusub
650		7	\|a senzory \|2 stusub
700	1		\|a Hotový, Ivan, \|d 1957- \|4 ths \|u E030 \|U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky \|T FEI Ústav elektroniky a fotoniky \|X 4233 \|U E030 \|Y 549 \|7 A000004233
700	1		\|a Lalinský, Tibor \|4 ths
996			\|b 284ED01274 \|c E*ZP-138 \|l EE01 \|s A \|a 24 \|w stu208331_0001