Výskum prípravy tenkovrstvových štruktúr katódovým rozprašovaním a vákuovým naparovaním. Časť C/ Pasivácia polovodičových štruktúr : Dielčia správa. Štátna výskumná úloha III-3-5/1

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Csabay, Otto, 1937- (Verfasst von)
Weitere Verfasser:	Harman, Rudolf (Leitung des Forschungsteams)
Format:	Buch
Veröffentlicht:	Bratislava : SVŠT v Bratislave EF, 1971
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie das erste Tag hinzu!

View in STU Opac

Výskum prípravy tenkovrstvových štruktúr katódovým rozprašovaním a vákuovým naparovaním. Časť C/ Pasivácia polovodičových štruktúr : Dielčia správa. Štátna výskumná úloha III-3-5/1 von Csabay, Otto, 1937-

Veröffentlicht 1972

Buch