Využitie iónových zväzkov pre vákuovú mikrotechnológiu : Zpráva dielčej štátnej výskumnej úlohy III-3-3/5
Salvato in:
| Autore principale: | |
|---|---|
| Altri autori: | |
| Natura: | Libro |
| Pubblicazione: |
Bratislava :
SVŠT v Bratislave EF,
1972
|
| Tags: |
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne!!
|
| Descrizione fisica: | 27 s príl. |
|---|