Process Engineering Analysis in Semiconductor Device Fabrication /
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| Auteurs principaux: | , |
|---|---|
| Format: | Livre |
| Langue: | anglais |
| Publié: |
New York :
McGraw-Hill,
1993
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| Description matérielle: | 774 s.Tab.,grafy,lit.,index |
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| ISBN: | 0-07-041853-5 |