Microelectronic Materials and Processes
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Dordrecht :
Kluwer Academic Publishers,
1989
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| Schriftenreihe: | Nato ASI Series
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| Tags: |
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| Beschreibung: | Obr.,tab.,grafy,lit.,index |
|---|---|
| Beschreibung: | 985 s |
| ISBN: | 0-7923-0154-4 |