Microelectronic Materials and Processes
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Livro |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
Dordrecht :
Kluwer Academic Publishers,
1989
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| Colecção: | Nato ASI Series
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| Tags: |
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| Descrição do item: | Obr.,tab.,grafy,lit.,index |
|---|---|
| Descrição Física: | 985 s |
| ISBN: | 0-7923-0154-4 |