Halbleiter-Technologie. Eine Einführung in die Prozesstechnik von Silizium und III-V-Verbindungen /
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| Format: | Livre |
| Langue: | allemand |
| Publié: |
Stuttgart :
BSB Teubner,
1991
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| Description matérielle: | 812 s |
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| ISBN: | 3-519-06133-3 |