Ionnaja implantacija v poluprovodniki i drugije materialy : Sbornik statej

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Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Moskva : Mir, 1980
Ausgabe:1.vyd.
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Beschreibung
Beschreibung:prel. z angl.orig.
Beschreibung:330 s