Skúmanie leptacích procesov v plazmochemickom a reaktívnom iónovom leptaní : Kand.diz.práca : V.odb. 26-10-9 : Obh. 04.11.1987 : Projekt III-6-1/12,III-7-2/01 /
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| Format: | Manuskript Buch |
| Veröffentlicht: |
Bratislava :
SVŠT v Bratislave EF,
1986
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| Beschreibung: | 150 s Autoref.1986, 20 s |
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