Príprava tenkých vrstiev na báze AINx metódou pulzného reaktívného neprašovania = Aluminium nitride films prepared by reactive magnetron sputtering : Dipl.práca
Enregistré dans:
| Auteur principal: | |
|---|---|
| Autres auteurs: | |
| Format: | Manuscrit Livre |
| Langue: | slovaque |
| Publié: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
1999
|
| Sujets: | |
| Tags: |
Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!
|
| Description matérielle: | 54 s |
|---|