Dopovacie procesy v CVD epitaxii kremíka : Kand.diz.práca : V.odb. 11-22-9 : Obh. 28.11.1994 /

Salvato in:
Autore principale: Halaj, Ján (Autore)
Altri autori: Barta, Štefan (Relatore della tesi)
Natura: Manoscritto Libro
Pubblicazione: Bratislava : STU v Bratislave FEI, 1994
Soggetti:
fyzika kondenzačných látok a akustika
fyzika tuhých látok
epitaxné vrstvy
fyzikálne modelovanie
fyzika polovodičov
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