Microsensors, MEMS, and smart devices

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Main Authors: Gardner, Julian W. (Author), Varadan, Vijay K (Author), Awadelkarim, Osama O (Author)
Formato: Livro
Idioma:inglês
Publicado em: Chichester : John Wiley & Sons, 2001
Assuntos:
Mikroelektronika
fyzika polovodičov
polovodičové materiály
mikromechanika
MEMS
mikrosenzory
mikrostereolitografia
fyzika tuhých látok
mikromechanické zariadenia
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Descrição Física:503 s
ISBN:0-471-86109-X

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