Meranie teplotných závislostí rezistivity tenkých vrstiev Ru-SiO pre pokročilú CMOS technológiu

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Autor principal: Fajta, Michal (Autor)
Otros Autores: Ťapajna, Milan, 1977- (Orientador), Harmatha, Ladislav, 1948- (Orientador)
Formato: Manuscrito Libro
Publicado: Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2008
Materias:
elektronika
Mikroelektronika
meranie teploty
CMOS
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Descripción Física:60 s

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