Vplyv parametrov naprašovania na štruktúrne a napäťové charakteristiky tenkých vrstiev
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| Autore principale: | |
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| Altri autori: | |
| Natura: | Manoscritto Libro |
| Lingua: | slovacco |
| Pubblicazione: |
STU v Bratislave MTF UMAT,
2010
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| Accesso online: | VAIS |
| Tags: |
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