Výskum katódového naprašovania, iónového plátovanie a iónového leptania vrstových štruktúr. Časť A: Výskum VF naprašovania kovových vrstiev : Etapová správa o riešení čiastkovej úlohy III-4-3/1 štátného plánu základného výskumu
Uložené v:
| Hlavní autori: | , , |
|---|---|
| Médium: | Kniha |
| Vydavateľské údaje: |
Bratislava :
SVŠT v Bratislave EF,
1978
|
| Tagy: |
Žiadne tagy, Buďte prvý, kto otaguje tento záznam!
|