Výskum katódového naprašovania, iónového plátovanie a iónového leptania vrstových štruktúr. Časť B: Vybrané metódy hodnotenia dielektrických vrstiev v rozhraní v MIS štruktúrach : Etapová správa o riešení čiastkovej úlohy III-4-3/1 štátného plánu základného výskumu
Enregistré dans:
| Auteurs principaux: | , , , , |
|---|---|
| Format: | Livre |
| Publié: |
Bratislava :
SVŠT v Bratislave EF,
1978
|
| Tags: |
Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!
|