Meranie multivrstvových štruktúr pre mikroelektroniku metódou hmotnostnej spektrometrie sekundárnych iónov : Dipl.práca
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | |
| Format: | Manuskript Buch |
| Sprache: | Slowakisch |
| Veröffentlicht: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
1999
|
| Schlagworte: | |
| Tags: |
Keine Tags, Fügen Sie das erste Tag hinzu!
|
Ähnliche Einträge: Meranie multivrstvových štruktúr pre mikroelektroniku metódou hmotnostnej spektrometrie sekundárnych iónov :
- Vizualizácia 3D hĺbkových koncentračných profilov zíslaných metódou hmotnostnej spektrometrie sekundárnych iónov
- Systém riadenia pohybu iónového zväzku vo vzorke v hmotmostnom spektrometri sekundárnych iónov : Diplomová práca
- Systém digitálného snímania a spracovania hmotnostných spektier sekundárnych iónov
- Diagnostika polovodičových štruktúr metódou fotoluminiscencie : Dipl.práca
- Systém digitálného snímania a distribučných máp a hmotnostných spektier sekundárnych iónov
- Riadiaca jednotka pre reguláciu teploty vyhrievacích článkov hmotnostného spektrometra sekundárnych iónov = Temperature management of heating elements used by secondary ion mass spectrometry : Dipl.práca