Meranie multivrstvových štruktúr pre mikroelektroniku metódou hmotnostnej spektrometrie sekundárnych iónov : Dipl.práca
Salvato in:
| Autore principale: | |
|---|---|
| Altri autori: | |
| Natura: | Manoscritto Libro |
| Lingua: | slovacco |
| Pubblicazione: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
1999
|
| Soggetti: | |
| Tags: |
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne!!
|
Documenti analoghi: Meranie multivrstvových štruktúr pre mikroelektroniku metódou hmotnostnej spektrometrie sekundárnych iónov :
- Vizualizácia 3D hĺbkových koncentračných profilov zíslaných metódou hmotnostnej spektrometrie sekundárnych iónov
- Systém riadenia pohybu iónového zväzku vo vzorke v hmotmostnom spektrometri sekundárnych iónov : Diplomová práca
- Systém digitálného snímania a spracovania hmotnostných spektier sekundárnych iónov
- Diagnostika polovodičových štruktúr metódou fotoluminiscencie : Dipl.práca
- Systém digitálného snímania a distribučných máp a hmotnostných spektier sekundárnych iónov
- Riadiaca jednotka pre reguláciu teploty vyhrievacích článkov hmotnostného spektrometra sekundárnych iónov = Temperature management of heating elements used by secondary ion mass spectrometry : Dipl.práca