Plazmatické leptanie kremíka = Plasme etching of silicon : Dipl.práca
Na minha lista:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Outros Autores: | , |
| Formato: | Manuscrito Livro |
| Idioma: | eslovaco |
| Publicado em: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
1999
|
| Assuntos: | |
| Tags: |
Sem tags, seja o primeiro a adicionar uma tag!
|
Registos relacionados: Plazmatické leptanie kremíka = Plasme etching of silicon :
- Suché plazmatické leptanie a tvarovanie mikroštruktúr pre aplikácie v mikroelektronike a senzorike : V.odb. 26-13-9 : dát.obhaj. 16.5.2010
- Plazmatické techniky
- Plasma deposition, treatment, and etching of polymers /
- Animácie vybraných polovodičových štruktúr na báze kremíka ako súčasť elektronického vzdelávania
- Silicon and Silicones /
- Skúmanie leptacích procesov v plazmochemickom a reaktívnom iónovom leptaní : Kand.diz.práca : V.odb. 26-10-9 : Obh. 04.11.1987 : Projekt III-6-1/12,III-7-2/01 /