Plazmatické leptanie kremíka = Plasme etching of silicon : Dipl.práca

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Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Šiška, Marián (Autore)
Altri autori:	Hotový, Ivan, 1957- (Relatore della tesi), Dudík, Miroslav (Relatore della tesi)
Natura:	Manoscritto Libro
Lingua:	slovacco
Pubblicazione:	Bratislava : STU v Bratislave FEI, 1999
Soggetti:	elektronika
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