The physics of micro/nano-fabrication
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| Main Authors: | , |
|---|---|
| Formato: | Livro |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
New York :
Plenum Press,
1992
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| Assuntos: | |
| Tags: |
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| Descrição Física: | 650 s |
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| ISBN: | 0-306-44146-2 |