Suché leptanie polovodičov podporované svetelným žiarením : Kand.diz.práca : V.odb. 26-11-9 : Obh. 13.04.1994 /
Uložené v:
| Hlavný autor: | |
|---|---|
| Ďalší autori: | |
| Médium: | Rukopis Kniha |
| Vydavateľské údaje: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
1993
|
| Predmet: | |
| Tagy: |
Žiadne tagy, Buďte prvý, kto otaguje tento záznam!
|
Podobné jednotky: Suché leptanie polovodičov podporované svetelným žiarením :
- Suché plazmatické leptanie a tvarovanie mikroštruktúr pre aplikácie v mikroelektronike a senzorike : V.odb. 26-13-9 : dát.obhaj. 16.5.2010
- Handbook of plasma processing technology : Fundamentals, etching, deposition and surface interactions /
- Application of polyimide films in microelectronics = Využitie polyimidových vrstiev v mikroelektronike : V. odb. 26-13-9. Obhajoba 21.11.2001
- Tvarovanie GaN mokrým chemickým leptaním
- Process engineering analysis in semiconductor device fabrication /
- Odhaľovanie a diagnostika dislokácií na polovodičovom A3B5 materiále