Suché leptanie polovodičov podporované svetelným žiarením : Kand.diz.práca : V.odb. 26-11-9 : Obh. 13.04.1994 /

Saved in:

Bibliographic Details
Main Author:	Parízek, Jaroslav (Author)
Other Authors:	Harman, Rudolf (Thesis advisor)
Format:	Manuscript Book
Published:	Bratislava : STU v Bratislave FEI, 1993
Subjects:	Mikroelektronika iónové leptanie laserové leptacie procesy
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!

View in STU Opac

MARC


LEADER	00000ntm a22000003a 4500
001	stu6013
005	20160720091543.2
008	------s1993----------------------------d
040			\|a STU \|b slo
100	1		\|a Parízek, Jaroslav \|4 aut
245	1		\|a Suché leptanie polovodičov podporované svetelným žiarením : \|b Kand.diz.práca : V.odb. 26-11-9 : Obh. 13.04.1994 / \|c [aut.] Parízek,Jaroslav, Ing.; Škol. Harman,Rudolf
260			\|a Bratislava : \|b STU v Bratislave FEI, \|c 1993
300			\|a 137 s : \|b lit.,príl + \|c Autoref.1993, 19 s
650		7	\|a Mikroelektronika \|2 stusub
650		7	\|a iónové leptanie \|2 stusub
650		7	\|a laserové leptacie procesy \|2 stusub
700	1		\|a Harman, Rudolf \|4 ths
996			\|b 284ED00609 \|c E*KDIZ-697 \|l EE01 \|s A \|a 24 \|w stu6013_0001