Optimalizácia ohmických kontaktov pre InAlN/GaN tranzistory

Saved in:

Bibliographic Details
Main Author:	Rybakov, Timur (Author)
Other Authors:	Chvála, Aleš (Thesis advisor)
Format:	Manuscript Book
Language:	Slovak
Published:	Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2025
Subjects:	testovacie štruktúry naparovanie kovových vrstiev InAlN/GaN heteroštruktúry optimalizácia teploty žíhania predpríprava povrchu elektrické vlastnosti kontaktov leptanie v HCl výrobný proces odprášenie argónovou plazmou surface pre-treatment manufacturing process argon plasma cleaning metal layer deposition annealing temperature optimization electrical properties of contacts HCl etching test structures InAlN/GaN heterostructures
Online Access:	https://opac.crzp.sk/?fn=detailBiblioFormChildAEEH9L&sid=BA75C2D62745AD5727EF919ED92F&seo=CRZP-detail-kniha
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!

View in STU Opac

Internet