Optimalizácia ohmických kontaktov pre InAlN/GaN tranzistory

Na minha lista:
Autor principal: Rybakov, Timur (Author)
Outros Autores: Chvála, Aleš (Thesis advisor)
Formato: Manuscrito Livro
Idioma:eslovaco
Publicado em: Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2025
Assuntos:
testovacie štruktúry
naparovanie kovových vrstiev
InAlN/GaN heteroštruktúry
optimalizácia teploty žíhania
predpríprava povrchu
elektrické vlastnosti kontaktov
leptanie v HCl
výrobný proces
odprášenie argónovou plazmou
surface pre-treatment
manufacturing process
argon plasma cleaning
metal layer deposition
annealing temperature optimization
electrical properties of contacts
HCl etching
test structures
InAlN/GaN heterostructures
Acesso em linha:https://opac.crzp.sk/?fn=detailBiblioFormChildAEEH9L&sid=BA75C2D62745AD5727EF919ED92F&seo=CRZP-detail-kniha
Tags: Adicionar Tag
Sem tags, seja o primeiro a adicionar uma tag!

Registos relacionados: Optimalizácia ohmických kontaktov pre InAlN/GaN tranzistory

Registos relacionados