Defects in High-k Gate Dielectric Stacks : Nano-Electronic Semiconductor Devices
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Dordrecht :
Springer Verlag,
2006
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| Schlagworte: | |
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