Výskum katódového naprašovania tenkých vrstiev
Uložené v:
| Hlavný autor: | |
|---|---|
| Médium: | Kniha |
| Vydavateľské údaje: |
Bratislava :
SVŠT v Bratislave EF,
1970
|
| Tagy: |
Žiadne tagy, Buďte prvý, kto otaguje tento záznam!
|
Podobné jednotky: Výskum katódového naprašovania tenkých vrstiev
- Výskum katódového naprašovania, iónového plátovanie a iónového leptania vrstových štruktúr. Časť A: Výskum VF naprašovania kovových vrstiev : Etapová správa o riešení čiastkovej úlohy III-4-3/1 štátného plánu základného výskumu
- Depozícia tenkých vrstiev využitím magnetrónového naprašovania a dutej katódy
- Vplyv parametrov naprašovania na štruktúrne a napäťové charakteristiky tenkých vrstiev
- Výskum katódového naprašovania, iónového plátovanie a iónového leptania vrstových štruktúr. Časť C: Výskum iónového plátovania. : Etapová správa o riešení čiastkovej úlohy III-4-3/1 štátného plánu základného výskumu
- Výskum tenkých fmg vrstiev : Záverečná správa č.2
- Výskum katódového naprašovania, iónového plátovanie a iónového leptania vrstových štruktúr. Časť B: Vybrané metódy hodnotenia dielektrických vrstiev v rozhraní v MIS štruktúrach : Etapová správa o riešení čiastkovej úlohy III-4-3/1 štátného plánu základného výskumu