Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Vol. 2
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| Format: | Livre |
| Langue: | anglais |
| Publié: |
Bellingham :
SPIE - The International Society for Optical Engineering,
1997
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| Description matérielle: | 692 s |
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| ISBN: | 0-8194-2379-3 |