Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Vol. 2
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| Outros Autores: | |
|---|---|
| Formato: | Livro |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
Bellingham :
SPIE - The International Society for Optical Engineering,
1997
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| Assuntos: | |
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|
MARC
| LEADER | 00000nam a22000003a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | stu24916 | ||
| 005 | 20150617225742.6 | ||
| 008 | 980219s1997------------------------eng-d | ||
| 020 | |a 0-8194-2379-3 | ||
| 040 | |a STU |b slo | ||
| 041 | 0 | |a eng | |
| 080 | |a 621.38-181.48 |7 stu_us_auth*stu13993 | ||
| 080 | |a 681.586-181.48 | ||
| 080 | |a 681.587-181.48 | ||
| 084 | |a B0170G |2 INS | ||
| 084 | |a B2575 |2 INS | ||
| 084 | |a B4200 |2 INS | ||
| 084 | |a B7230 |2 INS | ||
| 084 | |a B8340 |2 INS | ||
| 084 | |a B4100 |2 INS | ||
| 100 | 1 | |a Rai-Choudhury, P. |4 com | |
| 245 | 1 | |a Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Vol. 2 | |
| 260 | |a Bellingham : |b SPIE - The International Society for Optical Engineering, |c 1997 | ||
| 300 | |a 692 s | ||
| 650 | 7 | |a mikrosystémy |2 stusub | |
| 996 | |b E81714 |c E*81714 |l EE11 |s P |a 0 |w stu24916_0001 | ||