Silicon micromachining /
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| Autori principali: | , |
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| Natura: | Libro |
| Lingua: | inglese |
| Pubblicazione: |
Cambridge :
Cambridge University Press,
1998
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| Soggetti: | |
| Tags: |
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| Descrizione fisica: | 405 s |
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| ISBN: | 0-521-59054-X |