Silicon micromachining /

Guardado en:
Detalles Bibliográficos
Autores principales: Jansen, Henri V. (Autor), Elwenspoek, Miko (Autor)
Formato: Libro
Lenguaje:inglés
Publicado: Cambridge : Cambridge University Press, 1998
Materias:
Etiquetas: Agregar Etiqueta
Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!

MARC

LEADER 00000nam a22000003a 4500
001 stu50924
005 20150617225706.3
008 991118s1998----uk------------------eng-d
020 |a 0-521-59054-X 
040 |a STU  |b slo 
041 0 |a eng 
044 |a uk 
080 |a 538.9  |7 stu_us_auth*stu7967 
080 |a 621.793/.795 
080 |a 621.382.049.77 
080 |a 621.315 
084 |a A8160C  |2 INS 
084 |a B0170G  |2 INS 
084 |a B2550E  |2 INS 
084 |a B2575F  |2 INS 
100 1 |a Jansen, Henri V.  |4 aut 
245 1 |a Silicon micromachining /  |c M. Elwenspoek and H.V. Jansen 
260 |a Cambridge :  |b Cambridge University Press,  |c 1998 
300 |a 405 s 
650 7 |a mikrosystémy  |2 stusub 
650 7 |a MST  |2 stusub 
650 7 |a Kremík  |2 stusub 
650 7 |a fyzika polovodičov  |2 stusub 
650 7 |a plazmové leptanie  |2 stusub 
650 7 |a mikroobrábanie  |2 stusub 
650 7 |a mokré leptanie  |2 stusub 
650 7 |a suché leptanie  |2 stusub 
700 1 |a Elwenspoek, Miko  |4 aut 
996 |b 284EK82951  |c E*82951  |l EE11  |s P  |a 0  |w stu50924_0001