Optimalizácia elektrónovej litografie na prípravu nanoštruktúr pre vybrané senzorové aplikácie
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Manuscript Book |
| Language: | Slovak |
| Published: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
2023
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://opac.crzp.sk/?fn=detailBiblioFormChildA85TG&sid=C03CB0FBA6588971DE3F23D1B6BF&seo=CRZP-detail-kniha |
| Tags: |
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Similar Items: Optimalizácia elektrónovej litografie na prípravu nanoštruktúr pre vybrané senzorové aplikácie
- Vplyv procesu zvárania na zmeny mikroštruktúry vysokopevných ocelí
- Príprava a vlastnosti tenkovrstvových submikrometrových heteroštruktúr supravodič-feromagnet
- Využitie nanotechnológií pre výrobu optoelektronických prvkov s rozmermi pod difrakčným limitom : dát. obhajoby 27.8.2020
- Skúmanie elektricky aktívnych porúch v MOS štruktúrach na báze čierneho kremíka
- Štúdium nadmolekulovej štruktúry vybraných typov polymérov
- Vytváranie nanoštruktúr pomocou elektrónovej litografie