Optimalizácia elektrónovej litografie na prípravu nanoštruktúr pre vybrané senzorové aplikácie

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Vajda, Matúš (Verfasst von)
Weitere Verfasser:	Pavúk, Milan (Betreuung Doktorarbeit)
Format:	Manuskript Buch
Sprache:	Slowakisch
Veröffentlicht:	Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2023
Schlagworte:	Jednofotónový detektor Skenovací elektrónový mikroskop Suché leptanie Elektrónová litografia Nanodrôt Single-photon detector Electron-beam lithography Nanowire Scanning electron microscope Dry etching
Online-Zugang:	https://opac.crzp.sk/?fn=detailBiblioFormChildA85TG&sid=C03CB0FBA6588971DE3F23D1B6BF&seo=CRZP-detail-kniha
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie das erste Tag hinzu!

View in STU Opac

MARC


LEADER	00000ntm a22000003a 4500
001	stuzp89650
003	SK-STU
005	20241125142348.5
007	ta
008	150427s2015----xo-----f-mn---000-0-slo-d
040			\|a STU \|b slo
041	0		\|a slo
044			\|a xo
100	1		\|a Vajda, Matúš \|u 036000 \|4 aut \|U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky \|T FEI Ústav jadrového a fyzikálneho inžinierstva \|X 98246 \|U E060 \|Y 817 \|7 98246
242	0	1	\|a Optimization of electron lithography for the preparation of nanostructures for selected sensor applications \|y eng
245	1	0	\|a Optimalizácia elektrónovej litografie na prípravu nanoštruktúr pre vybrané senzorové aplikácie
260			\|a Bratislava : \|b STU v Bratislave FEI, \|c 2023
300			\|a 67 s.
650		4	\|a Jednofotónový detektor \|2 slo
650		4	\|a Skenovací elektrónový mikroskop \|2 slo
650		4	\|a Suché leptanie \|2 slo
650		4	\|a Elektrónová litografia \|2 slo
650		4	\|a Nanodrôt \|2 slo
650		4	\|a Single-photon detector \|2 eng
650		4	\|a Electron-beam lithography \|2 eng
650		4	\|a Nanowire \|2 eng
650		4	\|a Scanning electron microscope \|2 eng
650		4	\|a Dry etching \|2 eng
700	1		\|a Pavúk, Milan \|u 036000 \|k Z2 \|4 ths \|U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky \|T FEI Ústav jadrového a fyzikálneho inžinierstva \|X 10210 \|U E060 \|Y 817 \|7 A000010210
856	4		\|u https://opac.crzp.sk/?fn=detailBiblioFormChildA85TG&sid=C03CB0FBA6588971DE3F23D1B6BF&seo=CRZP-detail-kniha